功率器件封装结构的固晶粘接料空洞率检查

发布时间:2022-09-30 14:34:38
功率器件封装结构的固晶粘接料空洞率检查

影响功率器件可靠性主要因素:散热。
功率器件由于晶元工作时较高的发热量,怎样及时将热量导出是其封装结构设计的关键。
热量的迅速导出可以有效降低器件结温,提升产品可靠性。

图1 功率器件粘结焊料空洞率检查

影响散热主要因素:粘接料空洞率。
连接晶元与散热铜基板的粘接料空洞率是影响导热率的首要因素。
封装过程中由于粘接料重新熔融极易出现空洞,空洞会严重影响热导出效率,因此针对封装产线粘结料空洞率检查一直是封装行业关注要点。
功率器件粘接料空洞率检查的核心痛点:常规检测技术受到封装结构及选材的制约。
目前粘结料空洞率快速、方便的检查方法是X-Ray检查。但是为方便芯片热量及时导出,功率器件封装用基板选材都选用较厚铜基板(常见厚度1mm~3mm)。如此厚的铜基板直接影响X-Ray检查结果准确性,甚至严重情况时会导致无法检查内部空洞率。
针对以上问题,专门开发出铜基板减薄工艺,可以迅速有效地检查各类功率器件粘接料空洞率。

图2 功率器件粘结焊料空洞率检查案例
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